如果要在半导体基材上沉积山西氮化硅,有两种方法可供使用:
利用低压化学气相沉积技术在相对较高的温度下利用垂直或水平管式炉进行。
等离子体增强化学气相沉积技术在温度相对较低的真空条件下进行。
氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同,生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时,能通过调节沉积参数来减少张力。
上一个:山西高级耐火材料氮化硅 下一个:山西氮化硅制品
来源:http://shanxi.hxdhcl.com/product747476.html
时间:2021/7/5 9:02:57
相关新闻
相关产品
山西氮化硅
山西高纯氮化硅厂家
山西氮化硅铁粉末批发